สายการผลิตการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแบบต่อเนื่องเป็นระบบการผลิตที่มีความเชี่ยวชาญสูง ซึ่งส่วนใหญ่จะใช้ในการฝากฟิล์มฟังก์ชั่นบางมากหนึ่งชั้นขึ้นไปบนพื้นผิวของพื้นผิว (เช่น แก้ว พลาสติก โลหะ เซรามิก เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ฯลฯ )
แกนหลักของมันคือการทำให้วัสดุเคลือบกลายเป็นไอหรือแตกตัวเป็นไอออนด้วยวิธีการทางกายภาพต่างๆ ในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง จากนั้นจึงควบแน่นเป็นแผ่นฟิล์มบนพื้นผิวของสารตั้งต้น
การใช้งาน:
การเคลือบสูญญากาศของทองแดง เงิน และวัสดุนำไฟฟ้าอื่นๆ บนพื้นผิวเซรามิกส่วนประกอบไฟฟ้าและเซรามิกแผงวงจร
นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการสะสมสูญญากาศของชั้นฟิล์มโลหะต่างๆ บนพื้นผิวของแผ่นอื่นๆ- เช่น ชิ้นงาน (แก้ว แผ่นอะคริลิก ฯลฯ)
คุณสมบัติหลัก:
สนามแม่เหล็กจำกัดพลาสมา
นี่คือคุณสมบัติหลักของแมกนีตรอนสปัตเตอร์ ด้วยการใช้สนามแม่เหล็กแรงสูงที่มีรูปร่างเฉพาะ (โดยปกติจะเป็นรูปทรงวงแหวนหรือสนามแข่ง) ใกล้กับพื้นผิวเป้าหมาย อิเล็กตรอนจะถูกจำกัดอยู่ใกล้พื้นผิวเป้าหมายเพื่อทำให้เกิดการเคลื่อนที่แบบเกลียว ซึ่งจะเพิ่มความน่าจะเป็นอย่างมากในการชนกันและการแตกตัวเป็นไอออนของอิเล็กตรอนด้วยอะตอมของก๊าซที่ใช้งาน (โดยปกติคืออาร์กอน)
อัตราการไอออไนเซชันสูงและอัตราการสะสมสูง
การจำกัดสนามแม่เหล็กจะเพิ่มความหนาแน่นของพลาสมาและอัตราการไอออไนเซชันอย่างมีนัยสำคัญ ทำให้กระบวนการสปัตเตอร์มีประสิทธิภาพมากขึ้น
ซึ่งหมายความว่าที่แรงดันแก๊สที่ค่อนข้างต่ำและแรงดัน/กำลังสปัตเตอร์ต่ำ อัตราการสปัตเตอร์และการสะสมตัวที่สูงกว่าสามารถทำได้มากกว่า DC สปัตเตอร์แบบทั่วไป
กระบวนการที่อุณหภูมิต่ำ
เนื่องจากพลังงานส่วนใหญ่ถูกใช้เพื่อทำให้อะตอมเป้าหมายของแก๊สและสปัตเตอร์แตกตัวเป็นไอออน ความร้อนจึงถูกถ่ายโอนไปยังซับสเตรตค่อนข้างน้อย
คุณภาพฟิล์มดี
ความหนาแน่นที่ดี การยึดเกาะที่แข็งแกร่ง มีความบริสุทธิ์สูง และความสม่ำเสมอที่ดี
ความสามารถในการปรับตัวของวัสดุที่หลากหลาย
สามารถควบคุมกระบวนการได้ดี
สายการผลิตการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ได้กลายเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีหลักในการเตรียมฟิล์มบางที่ใช้งานได้ (เช่น ฟิล์มกรองแสง ฟิล์มนำไฟฟ้า ฟิล์มแข็งที่ทนต่อการสึกหรอ- ฟิล์มตกแต่ง -ฟิล์มป้องกันการกัดกร่อน ฟิล์มแม่เหล็ก ฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ ฯลฯ) ในอุตสาหกรรมสมัยใหม่ เนื่องจากคุณสมบัติหลักและข้อได้เปรียบ เช่น อัตราการสะสมสูง กระบวนการที่อุณหภูมิต่ำ คุณภาพฟิล์มที่ดีเยี่ยม (ขนาดกะทัดรัด การยึดเกาะที่แข็งแกร่ง) ความสามารถในการปรับตัวของวัสดุในวงกว้าง ความสม่ำเสมอที่ดี และการควบคุม มีการใช้งานอย่างกว้างขวางในไมโครอิเล็กทรอนิกส์ จอแบน เซลล์แสงอาทิตย์ การเคลือบเครื่องมือ ชิ้นส่วนยานยนต์ บรรจุภัณฑ์ การตกแต่ง อุปกรณ์ออพติก และสาขาอื่นๆ
ป้ายกำกับยอดนิยม: puyuan สายการผลิตแมกนีตรอนอย่างต่อเนื่องสปัตเตอร์เคลือบเคลือบ จีน puyuan แมกนีตรอนอย่างต่อเนื่องสายการผลิตเคลือบสปัตเตอร์ผู้ผลิตซัพพลายเออร์โรงงาน
