สายการเคลือบสปัตเตอร์แม็กเนทรอนแนวตั้ง

สายการเคลือบสูญญากาศ magnetron ขนาดเล็กในแนวตั้งเป็นอุปกรณ์ขั้นสูงที่ได้รับการสะสมฟิล์มบางคุณภาพสูงในพื้นที่ขนาดกะทัดรัด มันเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวิจัยและพัฒนาการผลิตแบทช์ขนาดเล็กและขนาดกลางและผลิตภัณฑ์ที่มีมูลค่าเพิ่มสูง

การสะสมของฟิล์มโลหะเช่นนิกเกิลและทองแดงบนพื้นผิวของแก้วเซรามิกและผลิตภัณฑ์แบน

โครงสร้างแนวตั้ง
การใช้พื้นที่สูง:

ห้อง, ระบบสูญญากาศ, กลไกการส่งผ่าน ฯลฯ มีการเรียงซ้อนในแนวตั้งและพื้นที่ที่ถูกครอบครองนั้นมีขนาดเล็กกว่าอุปกรณ์แนวนอนซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับห้องปฏิบัติการหรือการประชุมเชิงปฏิบัติการขนาดเล็กที่มีพื้นที่ จำกัด

การปนเปื้อนของอนุภาคน้อยลง
แรงโน้มถ่วงทำให้อนุภาคที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการจะลดลงไปด้านล่างและมีโอกาสน้อยที่จะยึดติดกับพื้นผิวพื้นผิวซึ่งจะช่วยให้ได้ฟิล์มที่สะอาดกว่า

การโหลดสารตั้งต้นที่ยืดหยุ่น:
โดยปกติแล้วจะใช้ตะกร้าแขวนถาดหรือชั้นวางสารตั้งต้นซึ่งทำให้ง่ายต่อการเคลือบพร้อมกันหลายชิ้นหรือการเคลือบแบบสม่ำเสมอ

การบำรุงรักษาค่อนข้างสะดวก:
ส่วนประกอบหลัก (เช่นเป้าหมายชั้นวางสารตั้งต้น) สามารถรักษาได้จากด้านหน้าหรือด้านข้าง

การย่อขนาดเล็ก
ต้นทุนการลงทุนต่ำ:

ค่าใช้จ่ายในการซื้ออุปกรณ์การติดตั้งและการปรับปรุงโรงงาน (เช่นห้องพักสะอาดไฟฟ้าและการระบายความร้อนด้วยน้ำ) ต่ำกว่าสายอุตสาหกรรมขนาดใหญ่อย่างมีนัยสำคัญ

ต้นทุนการดำเนินงานต่ำ:

การดูดฝุ่นอย่างรวดเร็ว (ปริมาตรห้องเล็ก ๆ ) การใช้ก๊าซต่ำและการใช้ไฟฟ้าต่ำ

ความยืดหยุ่นสูง:

มันง่ายที่จะเปลี่ยนวัสดุเป้าหมายปรับพารามิเตอร์กระบวนการและสลับระหว่างงานการเคลือบที่แตกต่างกันอย่างรวดเร็ว เหมาะมากสำหรับการผลิตแบบหลายผืนขนาดเล็กหรือการผลิตการทดลอง R&D

ง่ายต่อการรวมและอัพเกรด:

มันสามารถรวมเข้ากับสายทดลองที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดายหรือสภาพแวดล้อมการผลิตขนาดเล็กและยังง่ายต่อการขยายฟังก์ชั่น

เทคโนโลยีการสปัตเตอร์แมกนีตรอน
อัตราการสะสมสูง:

สนามแม่เหล็กจับอิเล็กตรอนและปรับปรุงประสิทธิภาพการแตกตัวเป็นไอออนส่งผลให้อัตราการสปัตเตอร์และการสะสมสูงขึ้น

คุณภาพภาพยนตร์ที่ดี:

มันสามารถผลิตฟิล์มที่มีความหนาแน่นสูงสม่ำเสมอและมีกาวสูงของโลหะอัลลอยด์ออกไซด์ไนไตรด์คาร์ไบด์ ฯลฯ

การควบคุมกระบวนการที่ดี:

โดยการควบคุมพารามิเตอร์อย่างแม่นยำเช่นความดันก๊าซ, พลังงาน, อัตราส่วนก๊าซ (การสปัตเตอร์ปฏิกิริยา), อคติของสารตั้งต้น ฯลฯ องค์ประกอบโครงสร้างความหนาและประสิทธิภาพของฟิล์มสามารถควบคุมได้อย่างประณีต

การเคลือบสูญญากาศ
สภาพแวดล้อมที่บริสุทธิ์:

มันดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูงเพื่อหลีกเลี่ยงมลพิษในชั้นบรรยากาศและสร้างความมั่นใจในความบริสุทธิ์และประสิทธิภาพของภาพยนตร์

วัสดุที่ใช้งานได้อย่างกว้างขวาง: วัสดุที่เป็นของแข็งเกือบทั้งหมด (โลหะ, เซมิคอนดักเตอร์, เซรามิก, พลาสติก ฯลฯ ) สามารถใช้เป็นเป้าหมายหรือพื้นผิว