สายการเคลือบสปัตเตอร์ Magnetron

สายการผลิตการเคลือบสูญญากาศเป็นระบบการผลิตที่มีความเชี่ยวชาญสูงซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในการฝากฟิล์มที่ใช้งานได้บางชั้นอย่างน้อยหนึ่งชั้นบนพื้นผิวของพื้นผิว (เช่นแก้ว, พลาสติก, โลหะ, เซรามิกเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ฯลฯ )

แกนกลางของมันคือการระเหยหรือทำให้เป็นไอออนวัสดุเคลือบด้วยวิธีการทางกายภาพที่หลากหลายในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูงแล้วควบแน่นเป็นฟิล์มบนพื้นผิวของสารตั้งต้น

การเคลือบสูญญากาศของทองแดงเงินและวัสดุนำไฟฟ้าอื่น ๆ บนพื้นผิวของเซรามิกส่วนประกอบไฟฟ้าและเซรามิกส์แผงวงจร

 

นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการสะสมสุญญากาศของชั้นฟิล์มโลหะต่างๆบนพื้นผิวของชิ้นงานที่เหมือนแผ่นอื่น ๆ (แก้ว, บอร์ดอะคริลิค ฯลฯ );

สนามแม่เหล็ก จำกัด พลาสมา

นี่คือคุณสมบัติหลักของ Magnetron Sputtering โดยการใช้สนามแม่เหล็กที่แข็งแกร่งของรูปร่างที่เฉพาะเจาะจง (โดยปกติจะเป็นวงแหวนหรือรูปร่างสนามแข่ง) ใกล้กับพื้นผิวเป้าหมายอิเล็กตรอนจะถูกกักตัวไว้ใกล้กับพื้นผิวเป้าหมายเพื่อทำการเคลื่อนที่ของเกลียวซึ่งจะเพิ่มความน่าจะเป็นของการชนและไอออนไนซ์ของอิเล็กตรอนด้วยก๊าซที่ทำงาน (ปกติอาร์กอน)

อัตราการแตกตัวเป็นไอออนสูงและอัตราการสะสมสูง

การกักเก็บสนามแม่เหล็กเพิ่มความหนาแน่นของพลาสม่าและอัตราการเกิดไอออไนซ์อย่างมีนัยสำคัญทำให้กระบวนการสปัตเตอร์มีประสิทธิภาพมากขึ้น

ซึ่งหมายความว่าที่ความดันก๊าซที่ค่อนข้างต่ำและแรงดันไฟฟ้า/พลังงานสปัตเตอร์ต่ำสามารถเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์และอัตราการสะสมที่สูงกว่า DC สปัตเตอร์ทั่วไป

กระบวนการอุณหภูมิต่ำ

เนื่องจากพลังงานส่วนใหญ่ใช้ในการทำให้เกิดไอออนก๊าซและอะตอมเป้าหมายสปัตเตอร์จึงมีการถ่ายโอนความร้อนเล็กน้อยไปยังสารตั้งต้น

คุณภาพภาพยนตร์ที่ดี

ความหนาแน่นดีการยึดเกาะที่แข็งแกร่งความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอที่ดี

การปรับตัวของวัสดุที่หลากหลาย

ความสามารถในการควบคุมกระบวนการที่ดี

สายการผลิตการเคลือบสปัตเตอร์แม็กตรอนได้กลายเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีกระแสหลักสำหรับการเตรียมฟิล์มบางฟังก์ชั่น (เช่นฟิล์มออปติคัลฟิล์มนำไฟฟ้าฟิล์มแข็งที่ทนต่อการสวมใส่, ฟิล์มที่มีคุณภาพสูง การปรับตัวของวัสดุที่กว้างความสม่ำเสมอและการควบคุมที่ดี มันมีแอพพลิเคชั่นที่กว้างมากในไมโครอิเล็กทรอนิกส์จอแสดงผลแผงแบนเซลล์แสงอาทิตย์การเคลือบเครื่องมือชิ้นส่วนยานยนต์บรรจุภัณฑ์การตกแต่งอุปกรณ์ออพติคอลและสาขาอื่น ๆ