หลักการปฏิบัติการ:
Magnetron sputtering เป็นเทคโนโลยีการสะสมไอทางกายภาพที่ใช้สนามแม่เหล็กเพื่อ จำกัด และเพิ่มพลาสมาการปล่อยเรืองแสงซึ่งจะทำให้วัสดุเป้าหมายอย่างมีประสิทธิภาพและวางฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิว
แอปพลิเคชัน:
มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในเครื่องใช้ในครัวเรือน, นาฬิกา, หัวกอล์ฟ, ศิลปะและงานฝีมือ, ของเล่น, ไฟสะท้อนแสงรถยนต์, กระสุนโทรศัพท์มือถือ, เครื่องมือและเมตร, พลาสติก, แก้ว, เซรามิกส์, กระเบื้องและการเคลือบพื้นผิวอื่น ๆ และการเคลือบฟังก์ชั่นสำหรับเครื่องมือและแม่พิมพ์
มันมีข้อได้เปรียบในด้านการชุบฟิล์มสีดำพิเศษฟิล์มตกแต่งทองคำบริสุทธิ์ ฯลฯ















คุณสมบัติ:
ความหนาของฟิล์มสามารถควบคุมได้และทำซ้ำได้
มันสามารถสะสมฟิล์มที่มีความหนาที่กำหนดไว้ล่วงหน้าและการเคลือบสปัตเตอร์สามารถได้รับความหนาของฟิล์มสม่ำเสมอบนพื้นผิวขนาดใหญ่
ภาพยนตร์เรื่องนี้มีการยึดเกาะที่แข็งแกร่งกับสารตั้งต้น
อะตอมสปัตเตอร์พลังงานสูงบางตัวสร้างระดับการฉีดที่แตกต่างกันทำให้เกิดเลเยอร์การกระจายแบบหลอกบนพื้นผิวที่อะตอมและอะตอมของสารตั้งต้นหลอมรวมกัน
การเตรียมฟิล์มบาง ๆ ของวัสดุพิเศษ
ฟิล์มผสมและฟิล์มผสมสามารถเตรียมได้โดยการสปัตเตอร์วัสดุที่แตกต่างกันในเวลาเดียวกัน ฟิล์มทองคำเลียนแบบดีบุกสามารถสปัตเตอร์ได้
ภาพยนตร์เรื่องนี้มีความบริสุทธิ์สูงและฟิล์มสปัตเตอร์จะไม่ถูกผสมกับส่วนประกอบของวัสดุฮีตเตอร์เบ้าหลอม
พร้อมกับแหล่งเสริมไอออนอุณหภูมิต่ำมันสามารถสร้างฟิล์มได้โดยการชุบเย็นที่อุณหภูมิห้องโดยไม่ต้องให้ความร้อนประหยัดพลังงานและไฟฟ้าและการปรับปรุงกำลังการผลิต
ข้อมูลจำเพาะ:
|
อุปกรณ์สปัตเตอร์ Magnetron |
|||||||
|
แบบอย่าง |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
ขนาดห้อง |
φ600× 800 มม. |
φ800× 1,000 มม. |
φ1000× 1200 มม. |
φ1200× 1400 มม. |
φ1400× 1600 มม. |
φ1500× 1500 มม. |
φ1600× 1800 มม. |
|
หน่วยสูญญากาศ |
หน่วยปั๊มกระจาย KT400 |
หน่วยปั๊มกระจาย KT500 |
หน่วยปั๊มกระจาย KT800 |
หน่วยปั๊มการแพร่กระจาย KT630 |
หน่วยปั๊มกระจาย KT630 คู่ |
หน่วยปั๊มกระจาย KT630 คู่ |
หน่วยปั๊มกระจาย KT630 คู่ |
|
ระบบเคลือบ |
แหล่งจ่ายไฟ DC หรือแหล่งจ่ายไฟความถี่กลางการเคลือบไอออนเสริมพลังงานพิเศษ |
||||||
|
ระบบเงินเฟ้อ |
มิเตอร์มวลชน |
||||||
|
วิธีการควบคุม |
ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ |
||||||
|
สุญญากาศที่ดีที่สุด |
5x10-3pa |
||||||
|
คำพูด |
พารามิเตอร์อุปกรณ์ข้างต้นมีไว้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้นและได้รับการออกแบบและปรับแต่งตามข้อกำหนดของกระบวนการจริงของลูกค้า |
||||||
ป้ายกำกับยอดนิยม: Magnetron อุปกรณ์สปัตเตอร์จีนผู้ผลิตอุปกรณ์สปัตเตอร์ Magnetron ผู้ผลิตซัพพลายเออร์โรงงาน
