เครื่องเคลือบแสง

แบบอย่าง

SF-800

SF-1200

SF-1400

SF-1600

SFW-1000

SFW-1200

SFW-1600

ขนาดห้อง

φ800× 1,000 มม.

φ1200× 1400 มม.

φ1400× 1600 มม.

φ1600× 1800 มม.

φ1000× 1100 มม.

φ1200× 1400 มม.

φ1600× 1800 มม.

หน่วยสูญญากาศ

หน่วยปั๊มกระจาย KT500

หน่วยปั๊มการแพร่กระจาย KT630

หน่วยปั๊มกระจาย KT630 ​​คู่

หน่วยปั๊มกระจาย KT630 ​​คู่

หน่วยปั๊มกระจาย KT500

หน่วยปั๊มการแพร่กระจาย KT630

หน่วยปั๊มกระจาย KT630 ​​คู่

ระบบเคลือบ

แหล่งกำเนิดการระเหยของปืนอิเล็กตรอนการเคลือบไอออนเสริมแหล่งจ่ายไฟหรือแหล่งไอออนฮอลล์โดยเฉพาะ

ระบบเงินเฟ้อ

ตัวควบคุมแรงดัน

วิธีการควบคุม

ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติ

ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม

ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มคริสตัลควอตซ์

อัตราการสูบน้ำ

5 × 10-3pa ﹤15 นาที

สุญญากาศที่ดีที่สุด

3.0x10-4pa

คำพูด

พารามิเตอร์อุปกรณ์ข้างต้นมีไว้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้นและได้รับการออกแบบและปรับแต่งตามข้อกำหนดของกระบวนการจริงของลูกค้า