การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนคือการใส่วัสดุฟิล์มลงในเบ้าหลอมทองแดง-ที่ระบายความร้อนด้วยน้ำ และใช้การให้ความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอนโดยตรงเพื่อทำให้อะตอมหรือโมเลกุลในวัสดุฟิล์มระเหยและหลุดออกจากพื้นผิว จากนั้นเข้าสู่พื้นผิวของสารตั้งต้นและควบแน่นเป็นฟิล์ม
การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนมีประสิทธิภาพเชิงความร้อนสูงกว่า ความหนาแน่นกระแสลำแสงสูงกว่า ความเร็วในการระเหยเร็วขึ้น และความบริสุทธิ์ของฟิล์มสูงกว่าการระเหยด้วยความร้อนด้วยความต้านทานทั่วไป
การใช้งาน:
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศการระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนสามารถเคลือบระบบฟิล์มได้หลากหลายด้วยชั้นจำนวนมาก เช่น -คลื่นผ่านสั้น, คลื่นยาว-, ฟิล์มป้องกัน-แสงสะท้อน, ฟิล์มสะท้อนแสง, ฟิล์มกรอง, ฟิล์มสเปกโทรสโกปี, ฟิล์มแบนด์พาส, ฟิล์มไดอิเล็กทริก, ฟิล์มสะท้อนแสงสูง-, ฟิล์มสะท้อนแสงสี ฯลฯ
สามารถเคลือบฟิล์มได้ตั้งแต่ 0-50 ชั้น และยังสามารถตอบสนองความต้องการการเคลือบของผลิตภัณฑ์ เช่น กระจกสะท้อนแสงรถยนต์ แว่นตา เลนส์สายตา ถ้วยแสงเย็น ฯลฯ
สามารถเคลือบระบบฟิล์มได้หลากหลายด้วยแหล่งการระเหย ปืนอิเล็กตรอน แหล่งกำเนิดไอออน และเครื่องวัดความหนาของฟิล์ม และสามารถระเหยโลหะ ออกไซด์ สารประกอบ และวัสดุฟิล์มที่มีจุดหลอมเหลวสูง-อื่นๆ
คุณสมบัติ:
เครื่องเคลือบออปติคอลมีเครื่องวัดความหนาฟิล์มคริสตัลควอตซ์ และ PLC และระบบหน้าจอสัมผัสถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อให้เกิดการควบคุมอัตโนมัติของกระบวนการทำงานทั้งหมด พร้อมประสิทธิภาพการทำงานที่ยอดเยี่ยมและความสามารถในการทำซ้ำคุณภาพของผลิตภัณฑ์
เหมาะสำหรับใช้โดยผู้ผลิตในด้านออพติคัลฟิลด์และข้อกำหนดการผลิตทางอุตสาหกรรมขนาดใหญ่-
ข้อมูลจำเพาะ:
| เครื่องเคลือบแสง | |||||||
|
แบบอย่าง |
เอสเอฟ-800 |
เอสเอฟ-1200 |
เอสเอฟ-1400 |
เอสเอฟ-1600 |
เอสเอฟดับเบิลยู-1000 |
เอสเอฟดับเบิลยู-1200 |
เอสเอฟดับเบิลยู-1600 |
|
ขนาดห้อง |
Φ800×1,000มม |
Φ1200×1400มม |
Φ1400×1600มม |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100มม |
Φ1200×1400มม |
Φ1600×1800MM |
|
หน่วยสูญญากาศ |
KT500 ชุดปั๊มกระจาย |
KT630 ชุดปั๊มกระจาย |
หน่วยปั๊มกระจาย KT630 คู่ |
หน่วยปั๊มกระจาย KT630 คู่ |
KT500 ชุดปั๊มกระจาย |
KT630 ชุดปั๊มกระจาย |
หน่วยปั๊มกระจาย KT630 คู่ |
|
ระบบการเคลือบ |
แหล่งกำเนิดการระเหยของปืนอิเล็กตรอน แหล่งจ่ายไฟไอออนเสริมสำหรับเคลือบ หรือแหล่งกำเนิดไอออนฮอลล์ |
||||||
|
ระบบเงินเฟ้อ |
เครื่องควบคุมความดัน |
||||||
|
วิธีการควบคุม |
ด้วยตนเองหรืออัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
||||||
|
ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม |
ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มคริสตัลควอตซ์ |
||||||
|
อัตราการสูบน้ำ |
5×10-3Pa﹤15นาที |
||||||
|
สุดยอดสุญญากาศ |
3.0X10-4Pa |
||||||
|
หมายเหตุ |
พารามิเตอร์อุปกรณ์ข้างต้นมีไว้เพื่อการอ้างอิงเท่านั้น และได้รับการออกแบบและปรับแต่งตามความต้องการกระบวนการจริงของลูกค้า |
||||||
ป้ายกำกับยอดนิยม: อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศการระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ประเทศจีนผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศการระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ซัพพลายเออร์ โรงงาน
