หลักการเคลือบหลอดสุญญากาศในเครื่องเคลือบสุญญากาศคืออิเล็กตรอนซึ่งถูกเร่งไปยังสารตั้งต้นภายใต้อิทธิพลของสนามไฟฟ้าจะชนกับอะตอมของอาร์กอน และแตกตัวเป็นอาร์กอนไอออนและอิเล็กตรอนจำนวนมาก จากนั้นอิเล็กตรอนจะบินไปยังสารตั้งต้น ไอออนของอาร์กอนซึ่งถูกเร่งโดยสนามไฟฟ้า โจมตีวัสดุเป้าหมาย และพ่นอะตอมเป้าหมายจำนวนมากออกมา ซึ่งในฐานะอะตอมเป้าหมายที่เป็นกลาง (หรือโมเลกุล) จะสะสมตัวลงบนพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์ม ในระหว่างการเร่งความเร็วไปยังซับสเตรต อิเล็กตรอนทุติยภูมิจะได้รับอิทธิพลจากแรงลอเรนซ์ของสนามแม่เหล็ก และถูกกักขังอยู่ในบริเวณพลาสมาใกล้กับพื้นผิวเป้าหมาย บริเวณนี้มีความหนาแน่นของพลาสมาสูง และอิเล็กตรอนทุติยภูมิจะเคลื่อนที่เป็นวงกลมรอบพื้นผิวเป้าหมายภายใต้อิทธิพลของสนามแม่เหล็ก
เส้นทางการเคลื่อนที่อันยาวนานนี้เกี่ยวข้องกับการชนกันอย่างต่อเนื่องกับอะตอมอาร์กอน ทำให้เกิดไอออนเป็นอาร์กอนไอออนจำนวนมากที่โจมตีวัสดุเป้าหมาย หลังจากการชนกันหลายครั้ง อิเล็กตรอนจะค่อยๆ สูญเสียพลังงาน หลุดออกจากเส้นสนามแม่เหล็ก และเคลื่อนตัวออกจากวัสดุเป้าหมาย และสะสมลงบนสารตั้งต้นในที่สุด ขณะนี้ ด้วยการเพิ่มเป้าหมายการสปัตเตอร์แมกนีตรอนความถี่ปานกลาง- โมเลกุลที่ระเหยของฟิล์มจะถูกเร่งและระดมยิงด้วยวัสดุเป้าหมายภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า ทำให้อะตอมเป้าหมายจำนวนมากสปัตเตอร์ออกมา
อะตอม (หรือโมเลกุล) เป้าหมายที่เป็นกลางจะสะสมอยู่บนพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์ม ซึ่งช่วยแก้ปัญหาประเภทฟิล์มที่ไม่สามารถผ่านกรรมวิธีโดยการระเหยตามธรรมชาติในอดีต เช่น การชุบไททาเนียม การชุบเซอร์โคเนียม เป็นต้น
ในปัจจุบัน ฟิล์มคอมโพสิตอะลูมิเนียม-มักใช้ในหลอดสุญญากาศ ภาพยนตร์ทั้งเรื่องประกอบด้วยสามชั้น: ชั้นใน ชั้นกลาง และชั้นนอก โดยแต่ละชั้นมีหน้าที่ของตัวเอง ชั้นในเป็นชั้นสะท้อนแสงซึ่งมีหน้าที่หลักในการป้องกันความร้อนจากน้ำร้อนในท่อไม่ให้แผ่ออกไปด้านนอก
ชั้นกลางเป็นชั้นดูดซับซึ่งมีหน้าที่หลักในการดูดซับพลังงานแสงและแปลงเป็นพลังงานความร้อน
ชั้นนอกเป็นชั้นป้องกันแสงสะท้อน- ซึ่งมีหน้าที่หลักในการลดการสะท้อนของแสงแดดและเพิ่มอัตราการดูดซับของแสงแดด
