อุปกรณ์สปัตเตอร์ Magnetron ส่วนใหญ่ประกอบด้วยส่วนต่อไปนี้:
1. วัสดุเป้าหมาย: ส่วนประกอบหลักของอุปกรณ์สปัตเตอร์ Magnetron ซึ่งมักทำจากโลหะโลหะผสมและวัสดุอื่น ๆ
2. ห้องสูญญากาศ: สภาพแวดล้อมการทำงานของอุปกรณ์สปัตเตอร์แมกนีตรอนจำเป็นต้องดำเนินการภายใต้สภาวะสูญญากาศสูงและห้องสูญญากาศมีบทบาทในการรักษาสูญญากาศ
3. ระบบ Magnetron: สนามแม่เหล็กใช้เพื่อควบคุมการทิ้งระเบิดไอออนบนพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายเพื่อทำให้เกิดการสปัตเตอร์
4. กรอบพื้นผิว: ใช้เพื่อสนับสนุนวัสดุพื้นผิวที่จะประมวลผล
5. ระบบทำความร้อน: ในบางกรณีวัสดุเป้าหมายและสารตั้งต้นจะต้องได้รับความร้อนเพื่อควบคุมกระบวนการสปัตเตอร์
