วิธีการเคลือบฟิล์มฟังก์ชั่นการเคลือบด้วยเครื่องเคลือบสูญญากาศ

มีสองวิธีในการเคลือบฟิล์มฟังก์ชันวิธีการ CVD และวิธี PVD วันนี้บรรณาธิการจะแนะนำวิธีการเคลือบฟิล์มฟังก์ชั่นด้วยเครื่องเคลือบสูญญากาศโดยใช้การเคลือบ PVD หวังว่าจะช่วยคุณ:
วิธีการ PVD ใช้รูปแบบทางกายภาพเช่นการระเหยและการสปัตเตอร์เพื่อลบแหล่งที่มาของวัสดุเป้าหมายจากนั้นนำพลังงานผ่านพื้นที่สูญญากาศหรือสูญญากาศเพื่อสะสมไอไอออนไอออนบนพื้นผิวพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มหรือชิ้นส่วน ผ่านกระบวนการทำปฏิกิริยาเฟสก๊าซปฏิกิริยาเฟสก๊าซทำให้เกิดการระเหยและการสปัตเตอร์ของอะตอมโลหะซึ่งจะสะสมสารประกอบที่ต้องการบนพื้นผิวเครื่องมือ การเคลือบ PVD สามารถเคลือบไทเทเนียมไนไตรด์, ไทเทเนียมคาร์บอนไทรด์, อลูมิเนียมไทเทเนียมไนไตรด์และคาร์ไบด์โลหะทนไฟและไนไตรด์ต่างๆ
วิธีการ PVD ที่ใช้กันทั่วไปในปัจจุบันรวมถึงการระเหยลำแสงอิเล็กตรอนความดันต่ำ (LVEE), การสะสมส่วนโค้งอิเล็กตรอนของแคโทด (CAD), ทรานซิสเตอร์การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนแรงดันไฟฟ้าสูง ความแตกต่างที่สำคัญอยู่ในวิธีการระเหยกลายเป็นไอและวิธีการสร้างพลาสมาที่แตกต่างกันของวัสดุที่สะสมส่งผลให้เกิดความเร็วในการสร้างฟิล์มที่แตกต่างกันและคุณภาพการสร้างฟิล์ม
เทคโนโลยี PVD ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการรักษาพื้นผิวของเครื่องมือคาร์ไบด์อินทิกรัลและเครื่องมือเหล็กเครื่องมือความเร็วสูงและมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบผิวการฝึกซ้อมคาร์ไบด์, ใบคัตเตอร์สีมิลลิ่ง, รีมเมอร์, ก๊อกเครื่องมือรูปทรงพิเศษ, เครื่องมือเชื่อม ฯลฯ
เมื่อเทียบกับ CVD, PVD มีข้อดีดังต่อไปนี้:
อุณหภูมิการเคลือบ (300 ~ 500 องศา) ต่ำกว่าอุณหภูมิการแบ่งเบาของเหล็กเครื่องมือความเร็วสูงดังนั้นจึงไม่ทำลายความแข็งและความแม่นยำของมิติของเครื่องมือเหล็กความเร็วสูงและไม่จำเป็นต้องใช้ความร้อนหลังจากการเคลือบ ความหนาที่มีประสิทธิภาพของการเคลือบเพียงไม่กี่ไมครอนดังนั้นความแม่นยำดั้งเดิมของเครื่องมือสามารถรับประกันได้ซึ่งเหมาะสำหรับเครื่องมือที่มีความแม่นยำในการเคลือบสูง การเคลือบมีความบริสุทธิ์สูงความหนาแน่นดีและการเคลือบได้รับการผูกมัดอย่างแน่นหนากับสารตั้งต้น ประสิทธิภาพของการเคลือบไม่ได้รับผลกระทบจากวัสดุพื้นผิว การเคลือบนั้นสม่ำเสมอและไม่มีความหนาหรือการปัดเศษของขอบตัดและส่วนโค้งเพื่อให้เครื่องมือที่ซับซ้อนสามารถเคลือบได้อย่างสม่ำเสมอ ไม่มีขั้นตอน decarburization และการเคลือบไม่มีรอยแตกที่เกิดจากการกัดกร่อนของคลอรีนและการเปลี่ยนรูปแบบไฮโดรเจนโดยวิธี CVD ใบมีดเคลือบมีความแข็งแรงสูง กระบวนการทำงานนั้นสะอาดปราศจากมลพิษและปราศจากมลพิษ
ในปัจจุบันเทคโนโลยี PVD ของเครื่องเคลือบสูญญากาศไม่เพียง แต่ช่วยเพิ่มความแข็งแรงของพันธะระหว่างฟิล์มและวัสดุฐานเครื่องมือ แต่ยังพัฒนาองค์ประกอบการเคลือบจากการเคลือบเดี่ยวไปจนถึงการเคลือบคอมโพสิตที่หลากหลายเช่น tic, ticn, zrn, crn, mos2, tiain, tiaicn, tin-ain, cn การเคลือบภาพยนตร์เรื่องนี้ไม่เพียง แต่มีความแข็งแรงในการเชื่อมสูงความแข็งใกล้กับ CBN ประสิทธิภาพการต่อต้านการออกซิเดชั่นที่ดี แต่ยังสามารถควบคุมรูปร่างและความแม่นยำของขอบของเครื่องมือที่แม่นยำการประมวลผลความแม่นยำสูงและความแม่นยำในการประมวลผลของมันไม่ต่ำกว่าเครื่องมือเปลือย