อุปกรณ์การสะสมสูญญากาศการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์

หลักการสำคัญของอุปกรณ์สะสมสุญญากาศคือการทำให้แหล่งวัสดุกลายเป็นไอหรือแตกตัวเป็นไอออนในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ จากนั้นปล่อยให้อะตอม โมเลกุล หรือไอออนที่สร้างขึ้นสะสมบนพื้นผิวของซับสเตรตเป้าหมายเพื่อสร้างฟิล์มบางหนึ่งฟิล์มหรือมากกว่านั้น

ภายในห้องปิดผนึกสุญญากาศสูง- สนามแม่เหล็กจะจำกัดอิเล็กตรอนให้กลายเป็นก๊าซอาร์กอน ซึ่งส่งผลให้ไอออนของอาร์กอนพุ่งโจมตีเป้าหมายโลหะหรือออกไซด์ ส่งผลให้อะตอมของเป้าหมายถูกสปัตเตอร์ออกและเกาะอยู่บนพื้นผิวของชิ้นงานที่ติดตั้งบนชั้นวางหมุนของห้อง ทำให้เกิดฟิล์มบางที่มีความหนาแน่นระดับนาโน ระบบนี้รองรับแหล่งจ่ายไฟ DC,MF และ RF สปัตเตอร์ และรองรับทั้งเป้าหมายที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและเป็นฉนวน การกำหนดค่าหลาย-เป้าหมายทำให้สามารถ-สปัตเตอร์ร่วมสำหรับการผลิตฟิล์มคอมโพสิต-ชั้นเดียวและหลายชั้นได้

คุณสมบัติของอุปกรณ์

คุณภาพการเคลือบมีความเสถียรและสม่ำเสมอพร้อมการยึดเกาะที่แข็งแกร่ง
แท่นหมุนดาวเคราะห์ขับเคลื่อนชิ้นงานให้หมุนทั่วทั้งห้อง ทำให้มั่นใจได้ถึงความหนาของฟิล์มที่สม่ำเสมอทั่วทั้งชุด และป้องกันการหลุดลอกหรือหลุดล่อน สารเคลือบมีความบริสุทธิ์สูง และระบบสามารถผลิตฟิล์มโลหะ โลหะผสม และไดอิเล็กทริกออกไซด์ได้

รองรับการเคลือบที่อุณหภูมิต่ำ-และให้ความเข้ากันได้ของวัสดุพิมพ์ในวงกว้าง
ติดตั้งแหล่งจ่ายไอออนอุณหภูมิต่ำ-เป็นมาตรฐาน ช่วยให้สามารถเคลือบอุณหภูมิห้อง-โดยเพิ่มอุณหภูมิชิ้นงานให้น้อยที่สุด จึงป้องกันการเสียรูปที่เกิดจากความร้อนสูง

ความสามารถของกระบวนการที่ยืดหยุ่น การสปัตเตอร์-ร่วมหลายเป้าหมาย-
ห้องนี้สามารถกำหนดค่าด้วยเป้าหมายแมกนีตรอนหลายเป้าหมาย เพื่อให้สามารถโหลดวัสดุเป้าหมายที่แตกต่างกันพร้อมกันได้

การควบคุมลูปปิดอัตโนมัติ-โดยสมบูรณ์ผ่าน PLC ช่วยให้มั่นใจในการใช้งานได้ง่าย

การอพยพออกจากสุญญากาศ การไหลของก๊าซอาร์กอน กำลังสปัตเตอร์ ความเร็วในการหมุนของจานหมุน และพารามิเตอร์แหล่งกำเนิดไอออน ล้วนได้รับการควบคุมโดยอัตโนมัติ ระบบมีหน้าจอสัมผัส HMI และช่วยให้สามารถตั้งค่าสูตรการเคลือบล่วงหน้าได้หลายสูตร

ห้องสุญญากาศ รองรับการปรับแต่งที่ไม่ได้มาตรฐาน-

บำรุงรักษาง่าย ระบบสุญญากาศเสถียร

ก๊อกน้ำในห้องน้ำ ฝักบัว กล่อง/สายรัดนาฬิกา กรอบแว่นตา อุปกรณ์บนโต๊ะอาหาร เคสโทรศัพท์มือถือ เคสโน้ตบุ๊ก เตรียมฟิล์มตกแต่งสีต่างๆ ฟิล์มป้องกัน-ลายนิ้วมือ และ-ฟิล์มป้องกันการกัดกร่อน

ความหนาแน่นของการเคลือบสูงและความพรุนต่ำมาก

อะตอมที่สะสมผ่านการสปัตเตอร์แมกนีตรอนจะมีพลังงานสูง ทำให้พื้นผิวเคลื่อนที่ได้ดีและมีการอัดแน่น

แทบไม่มีรูเข็ม-และมีรูพรุนน้อยที่สุด

ความต้านทานการกัดกร่อนและการเกิดออกซิเดชันเหนือกว่าการเคลือบแบบระเหย{0}}แบบสุญญากาศอย่างมาก

ประสิทธิภาพการทดสอบสเปรย์เกลือที่ดีเยี่ยม เหมาะสำหรับการป้องกันการกัดกร่อนและการตกแต่งอุปกรณ์ในห้องน้ำ อุปกรณ์ฮาร์ดแวร์ และส่วนประกอบภายนอกอาคาร