
วัสดุที่เป็นของแข็งใดๆ จะละลายและดูดซับก๊าซบางชนิดในบรรยากาศ เมื่อวางในสุญญากาศ วัสดุเหล่านี้จะปล่อยก๊าซผ่านการสลาย อัตราการกำจัดก๊าซเป็นสัดส่วนกับปริมาณก๊าซในวัสดุ องค์ประกอบของก๊าซ อุณหภูมิ และเวลาในการคายออกจะแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับวัสดุ
ปั๊มแต่ละประเภทมีอัตราการสูบก๊าซที่มีส่วนประกอบต่างกันแตกต่างกัน เมื่ออพยพออกจากสุญญากาศ สิ่งแรกที่ต้องอพยพคือบรรยากาศในภาชนะ (ก๊าซนี้จะถูกอพยพอย่างรวดเร็ว และที่อุณหภูมิ 10-1Pa เตาเผาจะหมดพลังงานโดยพื้นฐานแล้ว) ตามด้วยก๊าซที่ถูกดูดซับออกจากพื้นผิวของวัสดุ ก๊าซที่กระจายจากด้านในของวัสดุสู่พื้นผิว และก๊าซที่ซึมผ่านผนังภาชนะเข้าไปในสุญญากาศ
ดังนั้นหลังจากที่สินค้าเข้าเตาแล้วจะต้องหุ้มฉนวนและไล่แก๊สออก เนื่องจากสินค้าจะดูดซับก๊าซเจือปนบางส่วนก่อนเข้าเตาเผา และเราจำเป็นต้องใช้ความร้อนที่เหมาะสมเพื่อให้ก๊าซเหล่านี้ระบายออกจากพื้นผิวของสินค้า ยกตัวอย่างเหล็กกล้าไร้สนิม นอกเหนือจากก๊าซที่ถูกดูดซับบนพื้นผิวแล้ว ก๊าซบางชนิดยังจะถูกปล่อยออกมาจากเหล็กในระหว่างกระบวนการให้ความร้อนและฉนวนอย่างต่อเนื่อง การมีอยู่ของก๊าซเหล่านี้มักจะส่งผลกระทบอย่างมีนัยสำคัญต่อความบริสุทธิ์และสีของฟิล์ม และยังมีผลกระทบอย่างมีนัยสำคัญต่อการยึดเกาะของชั้นฟิล์มอีกด้วย
จากคำแนะนำข้างต้น คุณควรรู้ว่าเหตุใดจึงต้องใช้อุปกรณ์เสริมการทำความร้อนในเครื่องเคลือบสูญญากาศ เพื่อให้บรรลุสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ต้องการและฝากชั้นฟิล์มคุณภาพสูง-ไว้ จำเป็นต้องกำหนดค่าอุปกรณ์เสริมการทำความร้อนในห้องเครื่องเคลือบสูญญากาศ
