
1. สภาพแวดล้อมมาตรฐาน อุณหภูมิ 20 องศา ความชื้นสัมพัทธ์ 65% ความดันบรรยากาศ 101325 Pa
2. สถานะมาตรฐานของแก๊ส : อุณหภูมิ 0 องศา ความดัน 101325 Pa
3. ความดัน (ความเข้ม): อัตราการเปลี่ยนแปลงของโมเมนตัมของโมเลกุลก๊าซที่ผ่านระนาบจินตภาพไปตามทิศทางปกติที่เป็นบวกของระนาบนั้น หารด้วยพื้นที่ของระนาบนั้น หรือองค์ประกอบปกติของแรงที่กระทำโดยโมเลกุลของก๊าซบนพื้นผิวของภาชนะบรรจุหารด้วยพื้นที่ผิว
4. ปาสกาล (สัญลักษณ์: Pa): หน่วยความดัน SI, 1 Pa=1 N/m²
5. ความดันบางส่วน: ความดันของส่วนประกอบเฉพาะในส่วนผสมของก๊าซ
6. ความดันรวม: ผลรวมของความดันของส่วนประกอบทั้งหมดในส่วนผสมของก๊าซ
7. สุญญากาศ: สถานะก๊าซภายใต้ความดันหนึ่งบรรยากาศภายในพื้นที่ที่กำหนด
8. ระดับสุญญากาศ: การทำให้บริสุทธิ์ของก๊าซภายใต้สภาวะสุญญากาศ มักแสดงเป็นค่าความดัน
9. แก๊ส: สารที่ไม่มีแรงระหว่างโมเลกุลจับกันและสามารถครอบครองพื้นที่ได้อย่างอิสระ (หมายเหตุ: ในเทคโนโลยีสุญญากาศ คำว่า "แก๊ส" ไม่ได้นำมาใช้อย่างเคร่งครัดกับก๊าซและไอระเหยที่ไม่-ควบแน่น)
10. ก๊าซไม่-ควบแน่น: ก๊าซที่สูงกว่าอุณหภูมิวิกฤต กล่าวคือ ก๊าซที่ไม่สามารถทำให้กลายเป็นของเหลวได้โดยการเพิ่มความดัน
11. ไอน้ำ: ก๊าซที่มีอุณหภูมิต่ำกว่าวิกฤต หมายถึงก๊าซที่สามารถทำให้เป็นของเหลวได้โดยการเพิ่มความดัน
12. ความดันไออิ่มตัว: ความดันไอของสารที่อุณหภูมิที่กำหนด เมื่อไอและเฟสควบแน่นอยู่ในสภาวะสมดุล
13. ระดับความอิ่มตัว: อัตราส่วนของความดันไอต่อความดันไออิ่มตัว
14. ไอน้ำอิ่มตัว: ไอน้ำที่อุณหภูมิที่กำหนดซึ่งความดันเท่ากับความดันไออิ่มตัว
15. ไอน้ำไม่อิ่มตัว: ไอน้ำที่อุณหภูมิที่กำหนดซึ่งมีความดันน้อยกว่าความดันไออิ่มตัว
16. ความหนาแน่นของเลขโมเลกุล (หน่วย: m⁻³): จำนวนโมเลกุลในปริมาตรรอบจุดหนึ่งในก๊าซ ณ เวลาที่กำหนด หารด้วยผลิตภัณฑ์
17. เส้นทางอิสระเฉลี่ย: ระยะทางที่โมเลกุลเคลื่อนที่ในการชนกันสองครั้งติดต่อกันกับโมเลกุลก๊าซอื่น ๆ เรียกว่าเส้นทางอิสระ ค่าเฉลี่ยของเส้นทางอิสระที่แตกต่างกันจำนวนมากเรียกว่าเส้นทางอิสระเฉลี่ย
18. อัตราการชน: จำนวนเฉลี่ยของการชนที่โมเลกุล (หรืออนุภาคอื่นที่กำหนด) ประสบ โดยสัมพันธ์กับโมเลกุลก๊าซอื่น (หรืออนุภาคอื่นที่กำหนด) ภายในระยะเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้น จำนวนการชนโดยเฉลี่ยนี้ควรได้รับโดยมีโมเลกุลจำนวนมากเพียงพอและมีช่วงเวลาที่ยาวเพียงพอ
19. อัตราการชนกันของปริมาตร: จำนวนเฉลี่ยของการชนระหว่างโมเลกุลของก๊าซภายในช่วงเชิงพื้นที่รอบจุดที่ระบุภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและปริมาตรของช่วงเชิงพื้นที่นั้น ช่วงเวลาและปริมาตรไม่ควรน้อยเกินไป
20. ปริมาณก๊าซ: ผลคูณของปริมาตรที่ก๊าซในอุดมคติครอบครองในสภาวะสมดุลและความดัน ค่านี้จะต้องระบุอุณหภูมิของก๊าซหรือแปลงเป็นค่าที่ 20 องศา (หมายเหตุ: ปริมาณก๊าซหมายถึง 2/3 ของพลังงานภายใน (หรือพลังงานศักย์) ของก๊าซในปริมาตรที่ครอบครองโดยปริมาณก๊าซนั้น)
21. การแพร่กระจายของก๊าซ: การเคลื่อนที่ของก๊าซในตัวกลางอื่นเนื่องจากการไล่ระดับความเข้มข้น ตัวกลางอาจเป็นก๊าซอื่น (ซึ่งในกรณีนี้การแพร่กระจายเรียกว่าอินเตอร์ดิฟฟิวชัน) หรือสารที่ควบแน่นได้
22. ระบบการแพร่กระจาย: อัตราส่วนของค่าสัมบูรณ์ของอัตราการไหลของมวลต่อหน่วยพื้นที่ต่อการไล่ระดับความเข้มข้นปกติต่อหน่วยพื้นที่
23. การไหลแบบหนืด: สถานะการไหลที่เส้นทางอิสระเฉลี่ยของโมเลกุลก๊าซมีขนาดเล็กกว่าขนาดหน้าตัดต่ำสุด-ของท่อมาก ดังนั้นการไหลจึงขึ้นอยู่กับความหนืดของก๊าซ การไหลแบบหนืดอาจเป็นแบบราบเรียบหรือแบบราบเรียบ
24. ค่าสัมประสิทธิ์ความหนืด: อัตราส่วนของแรงในวงสัมผัสต่อหน่วยพื้นที่ในทิศทางของการไล่ระดับความเร็วของก๊าซต่อการไล่ระดับความเร็ว
25. การไหลของปัวซอง: ความหนืดแบบลามินาร์-ไหลผ่านท่อยาวที่มีส่วนตัดเป็นวงกลม-
26. การไหลระดับกลาง: ก๊าซไหลผ่านท่อในสถานะระหว่างการไหลแบบราบเรียบและโมเลกุล
27. การไหลของโมเลกุล: การไหลโดยที่เส้นทางอิสระเฉลี่ยของโมเลกุลก๊าซมีขนาดใหญ่กว่าพื้นที่หน้าตัดสูงสุด-ของท่อ
28. หมายเลข Knuth: อัตราส่วนของเส้นทางอิสระเฉลี่ยของโมเลกุลก๊าซต่อเส้นผ่านศูนย์กลางของท่อร้อยสาย
29. ทางระบายน้ำระดับโมเลกุล: ไหลเมื่อก๊าซไหลผ่านช่องเปิดที่มีผนังบาง- โดยที่เส้นทางอิสระของโมเลกุลเฉลี่ยมีขนาดใหญ่กว่าขนาดช่องเปิดมาก
30. การหลบหนี: ก๊าซไหลผ่านวัสดุที่มีรูพรุนซึ่งเกิดจากความแตกต่างของแรงดัน
31. การหลบหนีด้วยความร้อน: ในการไหลของโมเลกุล การไหลของก๊าซเกิดขึ้นระหว่างภาชนะสองใบที่เชื่อมต่อกันเนื่องจากความแตกต่างของอุณหภูมิ เมื่อการขนส่งก๊าซถึงจุดสมดุล ความดันจะก่อตัวขึ้นระหว่างภาชนะทั้งสอง
32. อัตราการไหลของโมเลกุล: ความแตกต่างระหว่างจำนวนโมเลกุลที่ผ่านพื้นผิวในทิศทางที่กำหนดกับจำนวนที่ผ่านพื้นผิวในทิศทางตรงกันข้ามภายในช่วงเวลาที่กำหนดหารด้วยเวลา
33. ความหนาแน่นของอัตราการไหลของโมเลกุล: อัตราการไหลของโมเลกุลหารด้วยพื้นที่ผิว
34. อัตราการไหลของมวล: มวลของก๊าซที่ไหลผ่านหน้าตัด-ภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลา
35. อัตราการไหล: ปริมาณของก๊าซที่ไหลผ่านหน้าตัด-ภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลา
36. อัตราการไหลของปริมาตร: ปริมาตรของก๊าซที่ไหลผ่านหน้าตัด-ภายใต้อุณหภูมิ ความดัน และเงื่อนไขช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้น
37. จำนวนโมลของก๊าซที่ไหลผ่านหน้าตัดที่กำหนด-ภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้น
38. การกระจายความเร็วของแมกซ์เวลล์: การกระจายความเร็วที่กำหนดโดยฟังก์ชันการกระจายความเร็วของแมกซ์เวลล์-โบลต์ซมันน์ นั่นคือการกระจายความเร็วของโมเลกุลก๊าซในสภาวะสมดุลที่อุณหภูมิที่กำหนดและเมื่อระยะห่างถึงผนังภาชนะมากกว่าเส้นทางอิสระเฉลี่ยของโมเลกุล
39. ความน่าจะเป็นในการขนส่ง: ความน่าจะเป็นที่โมเลกุลที่สุ่มเข้าไปในทางเข้าของท่อจะออกทางทางออก
40. ค่าการนำไฟฟ้าระดับโมเลกุล: ค่าการนำไฟฟ้าระดับโมเลกุลของก๊าซที่ไหลผ่านส่วนตัดขวาง-หรือช่องเปิดของท่อที่ระบุสองส่วน ซึ่งแสดงเป็นอัตราส่วนของอัตราการไหลของโมเลกุลต่อค่าความหนาแน่นของจำนวนโมเลกุลโดยเฉลี่ยที่แตกต่างกันระหว่างส่วนตัดขวาง-หรือช่องเปิดของท่อทั้งสอง
41. สภาพการนำไฟฟ้า: ภายใต้สภาวะอุณหภูมิคงที่ อัตราส่วนของอัตราการไหลของก๊าซผ่านท่อร้อยสายหรือปากท่อต่อความแตกต่างความดันเฉลี่ยระหว่างส่วนตัดขวางที่ระบุสองส่วนของท่อส่งหรือปากท่อ
42. สภาพการนำไฟฟ้าภายใน: ภายใต้สภาวะที่การกระจายความเร็วของแมกซ์เวลล์มีอิทธิพลเหนือในภาชนะบรรจุ ค่าการนำไฟฟ้าของท่อ (หรือปาก) ที่เชื่อมต่อภาชนะทั้งสองดังกล่าว ภายใต้สภาวะการไหลของโมเลกุล จะเท่ากับผลคูณของค่าการนำไฟฟ้าขาเข้าและความน่าจะเป็นในการขนส่ง
43. ความต้านทานการไหล: ส่วนกลับของการนำไฟฟ้า
44. การดูดซับ: การจับก๊าซหรือไอ (ตัวดูดซับ) ด้วยของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ)
45. การดูดซับพื้นผิว: การดูดซับก๊าซหรือไอ (ตัวดูดซับ) ลงบนพื้นผิวของของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ)
46. การดูดซับทางกายภาพ: การดูดซับเนื่องจากกระบวนการทางกายภาพ.
47. การดูดซับทางเคมี: การดูดซับเนื่องจากกระบวนการทางเคมี
48. การดูดซึม: การแพร่กระจายของก๊าซหรือไอ (ตัวดูดซับ) เข้าสู่ภายในของของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ)
49. ค่าสัมประสิทธิ์พอดี: อัตราส่วนของพลังงานเฉลี่ยที่แลกเปลี่ยนจริงระหว่างอนุภาคที่ตกกระทบบนพื้นผิวกับพื้นผิว ต่อพลังงานเฉลี่ยที่อนุภาคควรแลกเปลี่ยนเพื่อให้ได้สมดุลทางความร้อนโดยสมบูรณ์บนพื้นผิว
50. อัตราเหตุการณ์: จำนวนโมเลกุลที่ตกกระทบบนพื้นผิวภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและพื้นที่ผิว50. อัตราเหตุการณ์: จำนวนโมเลกุลที่ตกกระทบบนพื้นผิวภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและพื้นที่ผิว
51. อัตราการควบแน่น: จำนวนโมเลกุล (หรือมวลของสสาร) ที่ควบแน่นบนพื้นที่ผิวที่กำหนดภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและพื้นที่ผิวนั้น
52. อัตราการยึดเกาะ: จำนวนโมเลกุลที่ถูกดูดซับบนพื้นผิวภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและพื้นที่ผิวนั้น
53. ความน่าจะเป็นของการยึดเกาะ: อัตราส่วนของอัตราการยึดเกาะต่ออัตราการเกิดอุบัติเหตุ
54. เวลาที่อยู่อาศัย: เวลาเฉลี่ยที่โมเลกุลถูกจำกัดอยู่ในสถานะดูดซับบนพื้นผิว
55. การย้ายถิ่น: การเคลื่อนที่ของโมเลกุลบนพื้นผิว
56. การดูดซับ: การปล่อยก๊าซหรือไอระเหยที่ถูกดูดซับโดยวัสดุ การปลดปล่อยอาจเป็นไปตามธรรมชาติหรือเร่งโดยวิธีทางกายภาพ
57. การไล่ก๊าซ: การคายก๊าซเทียมจากวัสดุ
58. การไล่ก๊าซ: การคายก๊าซตามธรรมชาติออกจากวัสดุ
59. อัตราการดูดซับ การกำจัดก๊าซ หรือการกำจัดก๊าซ: อัตราการไหล (หรืออัตราการไหลของโมเลกุล) ของก๊าซที่ถูกดูดซับ (หรือกำจัดแก๊ส) ออกจากวัสดุภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและพื้นที่ผิวนั้น
60. อัตราการระเหย: จำนวนโมเลกุล (หรือมวลของสสาร) ที่ระเหยออกจากพื้นผิวภายในช่วงเวลาที่กำหนด หารด้วยเวลานั้นและพื้นที่ผิวนั้น
61. การซึมผ่าน: ปรากฏการณ์ของก๊าซที่ผ่านชั้นกั้นของแข็ง ปรากฏการณ์นี้รวมถึงการแพร่ของก๊าซผ่านของแข็ง และอาจรวมถึงปรากฏการณ์พื้นผิวอื่นๆ ด้วย
62. ความสามารถในการซึมผ่าน: ภายใต้สภาวะการไหลคงที่ อัตราการไหลของก๊าซผ่านชั้นกั้น (เช่น ผนังถัง) หารด้วยหน้าที่ของแรงกดดันทั้งสองด้านของชั้นกั้น รูปแบบของฟังก์ชันนี้ขึ้นอยู่กับกระบวนการทางกายภาพที่เกี่ยวข้องกับการซึมผ่านจริง
63. ค่าสัมประสิทธิ์การซึมผ่าน: ผลคูณของการซึมผ่านและความหนาของชั้นกั้น หารด้วยพื้นที่ผิวที่ซึมเข้าไปได้
ข้างต้นเป็นบทสรุปทั่วไปอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเงื่อนไขอุตสาหกรรม เราหวังว่าข้อมูลนี้จะเป็นประโยชน์ เนื่องจากการเข้าใจคำศัพท์เหล่านี้เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการเข้าสู่อุตสาหกรรมสุญญากาศ
