ในโครงการ PVD หลายโครงการมักพบปัญหาทั่วไป:
บนชิ้นงานเดียวกัน บางพื้นที่มีความหนามาก ในขณะที่บางพื้นที่บางมาก บางครั้งมีความแตกต่างที่ชัดเจนมาก
ปฏิกิริยาแรกของหลายๆ คนคือ โครงหมุนมีปัญหาหรือไม่? การหมุนไม่สม่ำเสมอหรือไม่?
ดังนั้นพวกเขาจึงเริ่มต้น: ตรวจสอบมอเตอร์ ปรับความเร็ว ปรับฟิกซ์เจอร์ให้เหมาะสม
แต่ผลลัพธ์มักจะเป็น: การปรับปรุงที่จำกัด หรือแม้กระทั่งไม่มีการเปลี่ยนแปลงเลย
นี่แสดงให้เห็นถึงประเด็นสำคัญ:
ความหนาไม่สม่ำเสมอไม่ได้เป็นเพียง "ปัญหาการหมุน" แต่ยังเป็น "ปัญหาการกระจายตัวของพลาสมา" ด้วย
ประการแรก ข้อสรุป: นี่คือ "ปัญหาการกระจายตัวเชิงพื้นที่"
ความหนาของฟิล์มขึ้นอยู่กับ: ฟลักซ์ของอะตอมที่ไปถึงพื้นผิวต่อหน่วยเวลา
และการไหลนี้มักจะ: เชิงพื้นที่ไม่-สม่ำเสมอ
กล่าวอีกนัยหนึ่ง: "การไหลของวัสดุ" ที่ชิ้นงานได้รับจะแตกต่างกันไปในแต่ละตำแหน่ง
ที่สอง. การหมุนช่วยแก้ปัญหาอะไรกันแน่?
ความเข้าใจเรื่องการหมุนของหลายๆ คนคือ:
"ทำให้ชั้นฟิล์มมีความสม่ำเสมอ"
แต่ความเข้าใจที่ถูกต้องกว่าคือ:
การหมุนเพียง "เฉลี่ยความไม่สม่ำเสมอ" แทนที่จะกำจัดมัน
ตัวอย่างง่ายๆ: หากการกระจายตัวของพลาสมา: แรงในด้านหนึ่ง, อ่อนในด้านหนึ่ง หลังจากการหมุน: ชิ้นงานจะผ่านบริเวณที่แข็งแรงและอ่อนแอเป็นระยะๆ ผลลัพธ์: ได้รับ "ค่าเฉลี่ย"
แต่หลักฐานคือ:
ความแตกต่างต้องไม่ใหญ่เกินไป
หากความแตกต่างใหญ่เกินไป:
หมุนไปเท่าไหร่ก็ไม่มีวันจะเท่ากันหมด
ที่สาม. “ปัญหาการหมุน” เกิดขึ้นเมื่อใด?
คุณลักษณะที่ 1: ความหนาเปลี่ยนแปลงเป็นระยะ
ตัวอย่างเช่น:
ความหนาเปลี่ยนแปลงสม่ำเสมอในแต่ละครั้ง
คุณลักษณะที่ 2: ความสม่ำเสมอไม่ดีระหว่างชิ้นงานต่างๆ บ้างก็ดีบ้างไม่ดี
คุณลักษณะที่ 3: การปรับปรุงการปรับความเร็วอย่างมีนัยสำคัญ
สาเหตุทั่วไป: ความเร็วในการหมุนไม่เสถียร ความเยื้องศูนย์กลางของการหมุน การจัดวางชิ้นงานไม่สมมาตร
สรุป: ปัญหาหลักในปัญหาการหมุนคือ "การกระจายเวลาไม่สม่ำเสมอ"
ออกมา เมื่อไหร่จะถึง “ปัญหาพลาสมา”? (ทั่วไปมากขึ้น)
คุณลักษณะที่ 1: หนาเสมอไปในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง
ไม่ว่าจะหมุนไปอย่างไร พื้นที่นี้ก็หนาขึ้นเสมอ
คุณลักษณะที่ 2: "การชดเชยเชิงพื้นที่" โดยรวม
ตัวอย่างเช่น: ด้านที่อยู่ใกล้เป้าหมายจะหนากว่า ในขณะที่ด้านที่อยู่ไกลออกไปจะบางกว่า
คุณลักษณะที่ 3: ชิ้นงานทั้งหมดมีรูปแบบคล้ายกัน
สาเหตุทั่วไป:
1. การกระจายสนามแม่เหล็กไม่สม่ำเสมอ การพังทลายของเป้าหมายที่ไม่สม่ำเสมอ ความหนาแน่นของพลาสมาไม่สม่ำเสมอ
2. อิทธิพลของโครงสร้างโพรง: การอุดตัน การสะท้อน
3. การรบกวนเป้าหมายหลาย-: การซ้อนทับระหว่างเป้าหมายที่แตกต่างกันไม่เท่ากัน
4. การออกแบบตำแหน่งชิ้นงานที่ไม่สมเหตุสมผล
บทสรุป:
แก่นแท้ของปัญหาพลาสมาคือ "แหล่งกำเนิดเชิงพื้นที่ไม่เท่ากัน"
ประการที่ห้า ความเข้าใจผิดที่สำคัญ
หลายๆคนเมื่อต้องเผชิญกับความไม่สม่ำเสมอ
ปฏิกิริยาแรกคือปรับการหมุน แต่ในความเป็นจริงแล้ว การหมุนรอบสามารถบรรเทาปัญหาเท่านั้น ไม่สามารถแก้ไขได้
หากสาเหตุที่แท้จริงคือความไม่เป็นเนื้อเดียวกันของพลาสมาอย่างรุนแรง การเพิ่มความเร็วในการหมุนเป็นเพียงการแก้ไขชั่วคราวเท่านั้น
ที่หก จะระบุประเภทของปัญหาได้อย่างรวดเร็วได้อย่างไร?
นี่เป็นวิธีปฏิบัติ:
วิธีที่ 1: แก้ไขชิ้นงาน (โดยไม่ต้องหมุน)
สังเกต: การกระจายความหนาของฟิล์ม
หาก ณ จุดนี้: การกระจายตัวมีความไม่สม่ำเสมออย่างรุนแรงอยู่แล้ว สรุป: ปัญหาพลาสมา
วิธีที่ 2: เปลี่ยนความเร็วในการหมุน
ถ้า:
การเปลี่ยนแปลงความเร็วในการหมุน → การเปลี่ยนแปลงความสม่ำเสมออย่างมีนัยสำคัญ
สรุป: ปัญหาการหมุน
วิธีที่ 3: เปลี่ยนตำแหน่งชิ้นงาน
ถ้า: เปลี่ยนตำแหน่ง → เปลี่ยนการกระจาย
สรุป: ปัญหาการกระจายเชิงพื้นที่
ที่เจ็ด. กลยุทธ์การเพิ่มประสิทธิภาพที่มีประสิทธิภาพอย่างแท้จริง
1. จัดลำดับความสำคัญของการจัดการ "การกระจายเชิงพื้นที่"
ปรับตำแหน่งเป้าหมายให้เหมาะสม ปรับสนามแม่เหล็ก ปรับปรุงโครงสร้างช่อง
2. ปรับกลยุทธ์การหมุนเวียนให้เหมาะสมยิ่งขึ้น
ความเร็วในการหมุน
วิถีการหมุน
โหมดการสั่น
3. ปรับตำแหน่งชิ้นงานให้เหมาะสม: หลีกเลี่ยงการกีดขวางและปรับปรุงความสมมาตร
4. การออกแบบการทำงานร่วมกันหลายเป้าหมาย-: การเปิดใช้งานเป้าหมายที่แตกต่างกันเพื่อสร้าง "การซ้อนทับแบบเดียวกัน"
แปด. การอัพเกรดองค์ความรู้ที่สำคัญ
หลายคนเข้าใจปัญหาดังนี้:
"โครงสร้างเมมเบรนที่ไม่สม่ำเสมอเป็นปัญหาทางกลไก"
แต่ความเข้าใจพื้นฐานเพิ่มเติมคือ:
นี่คือปัญหาของ "การคมนาคมขนส่งมวลชนที่ไม่สม่ำเสมอ"
กล่าวอีกนัยหนึ่ง เส้นทางของวัสดุจากชิ้นงานไปยังชิ้นงานนั้นมีมิติไม่{0}}สม่ำเสมอ
เก้า. สรุปสุดท้าย
ความหนาที่แตกต่างกันมากบนชิ้นงานเดียวกันเป็นปัญหาเกี่ยวกับการหมุนหรือพลาสมา-หรือไม่
คำตอบคือ:
อาจเป็นปัญหาเกี่ยวกับการหมุนเวียน แต่บ่อยครั้งที่เป็นปัญหาการกระจายพลาสมา ความแตกต่างที่สำคัญคือ:
ปัญหาการหมุน → ความไม่สม่ำเสมอทางโลก; ปัญหาที่เกี่ยวข้องกับพลาสมา- → ความไม่สม่ำเสมอเชิงพื้นที่
