ระดับสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับอุปกรณ์การตกตะกอนด้วยสุญญากาศคือเท่าใด? - บล็อก

เฮ้! ในฐานะซัพพลายเออร์อุปกรณ์สะสมสูญญากาศ ฉันมักถูกถามเกี่ยวกับระดับสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับอุปกรณ์ประเภทนี้ ดังนั้นฉันคิดว่าฉันจะเขียนบล็อกนี้เพื่อแบ่งปันข้อมูลเชิงลึก

ก่อนอื่น มาทำความเข้าใจก่อนว่าการสะสมของสุญญากาศคืออะไร การสะสมของสุญญากาศเป็นกระบวนการที่ฟิล์มบางถูกวางลงบนพื้นผิวในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ เทคนิคนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ออพติก อิเล็กทรอนิกส์ และยานยนต์ เพื่อสร้างการเคลือบที่มีคุณสมบัติเฉพาะ เช่น การป้องกันแสงสะท้อน การนำไฟฟ้า หรือความต้านทานการสึกหรอ

ระดับสุญญากาศในอุปกรณ์สะสมสุญญากาศเป็นสิ่งสำคัญ มีหน่วยวัดเป็นปาสคาล (Pa) ทอร์ หรือมิลลิบาร์ แรงดันต่ำหมายถึงระดับสุญญากาศที่สูงขึ้น เหตุใดเราจึงต้องมีสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง ในบรรยากาศปกติ มีโมเลกุลก๊าซจำนวนมากลอยอยู่รอบๆ เมื่อเราพยายามที่จะฝากฟิล์มบาง ๆ ไว้บนพื้นผิวในกระบวนการสะสม โมเลกุลของก๊าซเหล่านี้อาจเข้ามาขวางทางได้ สิ่งเหล่านี้สามารถชนกับอนุภาคที่สะสมอยู่ ซึ่งอาจทำให้สารเคลือบมีคุณภาพต่ำ มีความหนาไม่เท่ากัน หรือมีสิ่งสกปรก

ปัจจุบัน กระบวนการสะสมสุญญากาศประเภทต่างๆ ต้องใช้ระดับสุญญากาศที่แตกต่างกัน มาดูเรื่องทั่วไปกันบ้าง

การสะสมไอทางกายภาพ (PVD)

การสะสมไอทางกายภาพเป็นหนึ่งในเทคนิคการสะสมไอสุญญากาศที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย PVD มีหลายประเภทย่อย เช่น การระเหยและการสปัตเตอร์

สำหรับการระเหย - PVD โดยทั่วไปเราต้องการระดับสุญญากาศที่ค่อนข้างสูง ความดันมักจะอยู่ในช่วงตั้งแต่ 10⁻³ ถึง 10⁻⁶ Pa ที่ความดันต่ำนี้ เส้นทางอิสระเฉลี่ยของอะตอมที่กลายเป็นไอจะยาวเพียงพอ เส้นทางอิสระเฉลี่ยคือระยะทางเฉลี่ยที่โมเลกุลเคลื่อนที่ระหว่างการชนกัน ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง อะตอมที่ถูกระเหยสามารถเคลื่อนที่จากแหล่งกำเนิดการระเหยไปยังสารตั้งต้นได้โดยไม่เกิดการชนกับโมเลกุลของแก๊สมากนัก ทำให้มั่นใจได้ว่าการสะสมจะสะอาดและมีโครงสร้างที่ดี หากคุณสนใจกเครื่องสะสมไอทางกายภาพสำหรับออปติคัลคุณจะต้องรักษาสภาวะสุญญากาศสูงเช่นนี้เพื่อประสิทธิภาพสูงสุด

Physical Vapor Deposition Machine For Optical best Glass Vacuum Coating Machine factory

ในการสปัตเตอร์ PVD เราเริ่มต้นด้วยแรงดันสุญญากาศพื้นฐานในช่วง 10⁻³ ถึง 10⁻⁶ Pa หลังจากนั้น เราจะแนะนำแก๊สที่ใช้งาน ซึ่งมักจะเป็นอาร์กอน แรงดันใช้งานในระหว่างการสปัตเตอร์โดยทั่วไปจะอยู่ที่ประมาณ 0.1 ถึง 10 Pa ไอออนของก๊าซอาร์กอนจะถูกเร่งไปยังวัสดุเป้าหมาย ซึ่งจะทำให้อะตอมหลุดออกจากเป้าหมาย ซึ่งจะสะสมอยู่บนพื้นผิว ความดันจำเพาะขึ้นอยู่กับประเภทของวัสดุที่ถูกสปัตเตอร์และคุณสมบัติที่ต้องการของสารเคลือบ

E - ลำแสงเคลือบแสง

การเคลือบออปติคอล E - Beam ใช้สำหรับการเคลือบออปติคอลคุณภาพสูง ในกระบวนการนี้ ลำแสงอิเล็กตรอนจะถูกใช้เพื่อให้ความร้อนและระเหยวัสดุเคลือบ ต้องใช้ระดับสุญญากาศที่สูงมาก ซึ่งมักจะอยู่ในช่วง 10⁻⁵ ถึง 10⁻7 Pa สุญญากาศสูงเป็นพิเศษนี้มีความจำเป็นเนื่องจากแม้แต่การมีโมเลกุลของก๊าซเพียงเล็กน้อยก็สามารถส่งผลต่อคุณสมบัติทางแสงของสารเคลือบได้ สิ่งเจือปนขนาดเล็กอาจทำให้เกิดการกระเจิงของแสง ซึ่งถือเป็นเรื่องใหญ่ในการใช้งานด้านการมองเห็น หากคุณอยู่ในตลาดเพื่อE-beam Optical Coaterตรวจสอบให้แน่ใจว่าระบบของคุณสามารถบรรลุและรักษาระดับสุญญากาศระดับสูงนี้ได้

การเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์

การสปัตเตอร์แมกนีตรอนเป็นอีกวิธี PVD ที่ได้รับความนิยม คล้ายกับการสปัตเตอร์ทั่วไป โดยเริ่มต้นด้วยสุญญากาศฐานประมาณ 10⁻³ ถึง 10⁻⁶ Pa แรงดันใช้งานกับก๊าซอาร์กอนที่แนะนำมักจะอยู่ในช่วง 0.1 ถึง 10 Pa ข้อดีของการสปัตเตอร์แมกนีตรอนคือสามารถบรรลุอัตราการสะสมที่ค่อนข้างสูง แต่ยังต้องใช้สภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีการควบคุมอย่างดี หากคุณต้องการเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์โปรดทราบว่าการจัดการสุญญากาศเป็นสิ่งสำคัญ

การเคลือบพลาสม่า

การเคลือบพลาสมาเกี่ยวข้องกับการสร้างพลาสมาในห้องสุญญากาศเพื่อช่วยในกระบวนการสะสม สุญญากาศพื้นฐานสำหรับเครื่องเคลือบพลาสมามักจะต้องสูงถึง 10⁻² ถึง 10⁻⁴ Pa ระดับสุญญากาศที่เหมาะสมช่วยในการสร้างพลาสมาที่เสถียรและมีประสิทธิภาพ หากแรงดันสูงเกินไป พลาสมาอาจไม่เสถียรหรือติดไฟได้ยาก ในทางกลับกัน ถ้ามันต่ำเกินไป ก็อาจมีโมเลกุลของก๊าซไม่เพียงพอที่จะก่อตัวเป็นพลาสมา ตรวจสอบของเราเครื่องเคลือบพลาสม่าหากคุณกำลังพิจารณาเทคโนโลยีนี้

เคลือบสูญญากาศแก้ว

สำหรับการเคลือบสูญญากาศแก้ว การใช้งานที่แตกต่างกันอาจต้องใช้ระดับสุญญากาศที่แตกต่างกัน ตัวอย่างเช่น เมื่อใช้สารเคลือบป้องกันการสะท้อนแสงบนกระจก มักจะต้องใช้สุญญากาศสูงในช่วง 10⁻³ ถึง 10⁻⁶ Pa เพื่อให้แน่ใจว่าการเคลือบจะเรียบเนียนและสม่ำเสมอ หากเป็นการเคลือบตกแต่งบนกระจก ข้อกำหนดอาจจะเข้มงวดน้อยกว่าเล็กน้อย แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีระดับสุญญากาศที่ดีในช่วง 10⁻¹ ถึง 10⁻³ Pa มาดูของเรากันเครื่องเคลือบสูญญากาศแก้วสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับแอปพลิเคชันนี้

บรรลุและรักษาระดับสุญญากาศที่เหมาะสม

ในปัจจุบัน การบรรลุและรักษาระดับสุญญากาศที่ต้องการในระบบการสะสมไม่ใช่เรื่องง่าย โดยปกติแล้วจะต้องใช้ปั๊มสุญญากาศร่วมกัน มีปั๊มหลายประเภท เช่น ปั๊มใบพัดหมุน ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล และปั๊มกระจาย ปั๊มใบพัดโรตารีมักใช้เป็นปั๊มหยาบเพื่อลดแรงดันจากความดันบรรยากาศไปจนถึงระดับสุญญากาศปานกลางอย่างรวดเร็ว จากนั้นจึงใช้ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลและปั๊มกระจายเพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศสูงและสูงเป็นพิเศษ ซึ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการสะสมขั้นสูง

การบำรุงรักษาระบบสุญญากาศเป็นประจำก็มีความสำคัญเช่นกัน การรั่วไหลในระบบอาจทำให้ระดับสุญญากาศลดลงส่งผลต่อคุณภาพของการเคลือบ ดังนั้น การตรวจสอบการรั่วไหลเป็นประจำโดยใช้วิธีการต่างๆ เช่น การตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมจึงเป็นสิ่งสำคัญ

บทสรุป

โดยสรุป ระดับสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับอุปกรณ์สะสมสุญญากาศขึ้นอยู่กับกระบวนการสะสมเฉพาะ ไม่ว่าจะเป็นการเคลือบ PVD, การเคลือบอี - บีม, แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง, การเคลือบพลาสมา หรือการเคลือบแก้ว แต่ละประเภทก็มีจุดหวานของตัวเองในแง่ของแรงดันสุญญากาศ ในฐานะซัพพลายเออร์อุปกรณ์สะสมสูญญากาศ เราตระหนักดีถึงข้อกำหนดเหล่านี้ และนำเสนอเครื่องจักรที่สามารถบรรลุและรักษาระดับสุญญากาศที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานต่างๆ

หากคุณอยู่ในตลาดอุปกรณ์การสะสมสุญญากาศคุณภาพ และต้องการหารือเกี่ยวกับความต้องการเฉพาะของคุณ โปรดติดต่อเราได้เลย เราพร้อมช่วยคุณค้นหาโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับกระบวนการสะสมตัวของคุณ